原理
照明光束經半反半（bàn）透分光鏡分成兩束光，分別投射到樣品表麵和參考鏡表麵。從兩個表麵反射（shè）的兩束光相互幹涉，在CCD相機感光麵會觀察到明（míng）暗（àn）相間的幹涉條紋。幹涉條紋的亮度取決於兩束光的光程差，根據白光幹涉條紋明暗度以及幹涉條紋出現的位置（zhì）計算出（chū）被測樣品的（de）相對高（gāo）度（dù），從而得到樣品表麵（miàn）的三維尺寸信息（xī）。如下圖所示。

白光幹涉儀的優點
非接（jiē）觸式測量（liàng），不損傷樣品；
測試效率高，幾秒鍾成像，自動分（fèn）析結果；
高度方向分辨率（lǜ）高，在不同物鏡下均可達（dá）0.1nm，實現亞納米級的測量；
優異的重複性；
分析功能強大，簡便易用（yòng）；
優異的擴展性。

白光幹涉儀的作用
可以進行膜（mó）厚測量，溝槽測（cè）量，翹曲分析，表麵粗糙度測量，表（biǎo）麵高度及盲孔測量，樣品表麵圖案尺寸測量等（děng）。廣泛應用於半導體（tǐ），光學器件，太陽能（néng）電池，MEMS，生命科學，材料（liào）學等行業。

布魯克白光幹涉儀介紹
WYKO白光幹涉儀誕生於1982年（nián），2010年（nián）加入布（bù）魯克，與布魯克強強聯合，經過（guò）40多年技術不斷發展及革新，布魯克白光幹涉儀已（yǐ）經逐步在行業中內有良好口碑。且：
3項 美國（guó）R&D 100 大獎
6項（xiàng） Photonics Circle of Excellence Awards大獎
 

根（gēn）據不同的應用場景及樣品情（qíng）況，布魯（lǔ）克有以下等多個型號供用戶選擇：

 
ContourX-100                                ContourX-200
ContourX-500                             ContourX-1000   
NPFLEX-1000                                    ContourSP

應用及效果
布魯克白光幹涉儀的應用及效果（guǒ）

表麵粗糙度測量

表麵高度測量

表麵高度及盲孔測量

溝槽自（zì）動分析

三維實時測量

表麵翹曲測量

軟件界麵分析（xī）

        布（bù）魯克白光（guāng）幹（gàn）涉儀因其操作簡便，分辨率及重複性良好，軟件分析功能強大，且售後服務專業及時等優點，從而成為（wéi）形貌測量工程師的選擇，並被廣泛運用於半導體，光學器件（jiàn），太陽能，微電子，材料學等各個行業。