測氟難?TRACER 5G手持XRF破(pò)局(jú)!
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突(tū)破輕元(yuán)素檢測極限
氟(F)——現代工業的“關鍵先生”,也是潛伏的“麻煩製造者”!
在尖端(duān)半(bàn)導體製造中,氟基氣體(如CF4, NF3)是蝕刻、沉積、清洗工藝不(bú)可或缺的“利器”,其精準控製直接關乎芯片性能和良率。然而,氟的“調皮”屬(shǔ)性也帶來挑戰:殘留的氟化合物可能腐蝕精密(mì)部(bù)件,汙染製程,甚至導致昂貴的設備宕機!
在環(huán)境保護領域,含氟的(de)持久性有(yǒu)機汙染物(PFAS),如全氟烷基磺酸鹽(PFASs)和聚四氟乙烯(PTFE)相關物(wù)質,因其在環境(土壤、水體(tǐ))和人體中極難降解(jiě)(被稱為“永久化學品”)並(bìng)具有潛在健康風險,已成為全球監管和治理的焦點。消防泡沫、防護塗層(céng)、不粘炊具、潤滑劑(如自行車鏈蠟、滑雪蠟)都可能成為PFAS的來源(yuán)。
行業痛點與挑戰
無論是確保萬億級芯片產線(xiàn)的(de)純淨,還是鎖定無處不在的“永久(jiǔ)化學(xué)品”,快速、精準地檢(jiǎn)測氟元素(sù),都是破局的關鍵!傳統(tǒng)方法?力不從心!
實驗室送檢:周期長(耽誤生產排(pái)期/汙染擴散)、成本高(大規模篩查(chá)難以承受)、樣品破壞性(珍貴晶圓/複雜基體)。
常(cháng)規手持XRF: 對氟(F)等超輕元素束手無策,無法現場給出答案!
檢測難題亟待破解:如何做到 輕、快、準?
TRACER 5G
布魯克(Bruker)推出的(de)科研級手持式XRF分析儀——TRACER 5G,正是為解決此類嚴苛挑戰而(ér)生。它不(bú)僅僅是一款手持設備,更代表了輕元素檢測領域的一項重大突破。

核心技術:
TRACER 5G的核心革新在於其革命性的探測器窗口:它采用了1μm厚度的石墨(mò)烯窗(chuāng)口,取代了傳統的8μm鈹窗。

Q:為何是石墨烯?
A:這種由單層碳原子(zǐ)構成的二維材料,結構異常堅固,卻具有超薄的(de)特性。
Q:帶來了什麽改變?
A: 石墨烯窗口實現了更高的X射線透射率,顯著提升了對輕元(yuán)素尤(yóu)其是氟(F)的檢測靈敏度!
此外,
鈉 (Na)¹ 靈敏度提升 3倍
鎂 (Mg)¹ 靈敏度提升 2倍
氦氣(qì)環境(jìng) (He²) 下,Na檢測限可達 300 ppm
氦氣(qì)環境 (He²) 下(xià),Mg檢測限可達 100 ppm
氟(fú) (F) 檢測能力獲得質的飛躍
關鍵突破: 實現現場、快速、無損檢測氟(F)元素!

解決(jué)氟檢測痛點
TRACER 5G如何化身“氟”務專(zhuān)家?看(kàn)兩大硬核應用場景(jǐng):
· 案例1:半導體製(zhì)造過程中的(de)氟檢測——氟殘留與材料鑒別
痛點:
工藝腔室、晶圓載具(jù)、管道內壁殘留的氟化(huà)物(wù)(如蝕(shí)刻副產物)是隱形殺手;新型耐等離子(zǐ)體材料氧氟化釔 (YOF) 正逐步(bù)取代氧化釔 (Y₂O₃),但如何快速確認使用的是YOF(含氟)還是Y₂O₃(不含氟)?
TRACER 5G 解決方案:
快速篩查殘留: 無需(xū)拆卸,直接在設備部件、腔體(tǐ)表麵或晶圓(yuán)(非功能(néng)區)進行無損測量,數秒內定位氟汙染熱點,預警潛在風險,保障製程(chéng)純淨度和設備壽命。
精準材料鑒別: 通過檢測氟元素的存在與否,快速、明確區分YOF塗層(céng)與Y₂O₃塗層,確保關鍵防護部(bù)件使用了正確的先進材料。告別依賴複雜(zá)實驗室分析或模糊的物理觀察(chá)!

· 案例2:含氟的持久性(xìng)有機汙染物的檢(jiǎn)測
痛點:
PFAS分(fèn)布廣泛(消防(fáng)訓練場、工業區、受汙染水體周邊(biān)、廢棄物處理(lǐ)點),傳統檢(jiǎn)測流程繁瑣、昂貴且(qiě)滯後,難以滿足快速響應和初步篩查需求。PTFE製(zhì)品在使用磨損後也可能釋(shì)放相關含氟物質。
TRACER 5G 解決方案(àn):
現場初篩利器(qì):快速掃描土壤、灰塵、沉積物(wù)、甚至某些固體廢棄物表麵,指示可能存在PFAS汙染的熱點區域(氟作為PFAS的特征元素是(shì)其重要指示器)。雖然不能直接鑒(jiàn)定具體PFAS種類,但能大幅縮小需要送實驗室精確定量分析的範圍,節省大量時(shí)間和成本。
汙染源追蹤: 輔助判斷可能(néng)的汙染(rǎn)源(如泄漏點、曆史使用區域)。
含氟材料(liào)識別: 快(kuài)速識別場地中是否含有高濃度的含氟材料(如PTFE製品碎片、特定消防泡沫殘留物)。

產品(pǐn)價值 - TRACER 5G不僅(jǐn)僅是一台“手持設備”
科研級的檢測能力: 它代表著當前手持式XRF分析儀技術的前沿水平,性能直逼實驗室精密儀(yí)器。
寬泛(fàn)的元素覆蓋: 從超(chāo)輕(qīng)的鈉(Na)到重元素的鈾(U),一機覆蓋元素周期表兩端,滿足科學家和工程師的(de)多元化研究分析需求。
靈活性: 手持便攜(xié)設計,讓實驗室級(jí)的精準分析隨時(shí)隨(suí)地發生在產線旁、設備旁、研發(fā)現場。
無損檢測: 無需破(pò)壞樣品! 珍貴晶圓、設備部(bù)件、現場樣本完好無損。
操作簡單: 非專家經簡單培訓即可上手,降低使用(yòng)門檻。
成(chéng)本(běn)效益: 大幅降(jiàng)低良率損失風險、設備維護成本、實驗室送檢開銷及大規模環境篩查費用。
強大耐用: 專為工業現場和環境勘察設(shè)計。

無論(lùn)您是:
追求良(liáng)率與(yǔ)製程(chéng)控製(zhì)的半導體大廠,
負責環境監測與修複的政府機構(gòu)/環保(bǎo)公(gōng)司,
還是(shì)需要管控供應(yīng)鏈風險的材料/零部(bù)件供應商,
揭秘曆史真相的藝術品(pǐn)與(yǔ)考古(gǔ)機(jī)構(顏料成分無損鑒定、文物材質分析),
保障舌尖安全的食品/農業監管者與生產(chǎn)者(土壤養分/汙染元素篩查、食品接觸材料有害重金屬遷移檢測、肥料(liào)成分驗證),
勘探地球寶藏的地質礦業團隊(duì)(礦樣現場快速品位評估(gū)、礦脈追蹤、環境本底調查)
布魯克TRACER 5G手持式XRF分析(xī)儀,憑借革命性的石墨烯窗口技術,為(wéi)您提供現場、快速、無損(sǔn)、精準的(de)氟元素檢測方案,助您牢牢掌控氟這把“雙麵刃”!
即刻解鎖科(kē)研級手持分析新境界!







