紅外幹涉測量設備（bèi）-800av凹凸视频在线观看（yuè）儀器（上海）有限（xiàn）公司（sī）

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紅（hóng）外幹涉測量（liàng）設備

更新時間：2020-12-14

產品品牌：Frontier Semiconductor

產品型號：FSM 413

產品描述：紅（hóng）外幹涉測量技術, 非接觸式測量

紅外幹涉測量設備適用於可（kě）讓紅外線通過的材料

矽、藍寶石、砷化镓、磷化銦、碳化矽、玻璃、石（shí）英、聚合物…………

襯（chèn）底厚（hòu）度(不受圖案矽片、有膠帶、凹凸或者（zhě）粘合矽片影（yǐng）響)

平整度

厚度（dù）變化 (TTV)

溝槽深度

過孔尺寸、深度、側壁角度

粗糙度

薄膜厚度

環氧樹（shù）脂厚度（dù）

襯底翹曲度

晶圓凸點高度(bump height)

MEMS 薄膜測（cè）量

TSV 深度、側壁角度...

測量（liàng）方式: 紅外幹涉(非接觸式)

樣本尺寸: 50、75、100、200、300 mm

測量厚度: 30 — 780 μm (單探頭)

3 mm (雙探（tàn）頭總厚度測量)

掃瞄方式: 半自動及全（quán）自動型號,

另2D/3D掃瞄(Mapping)可（kě）選

襯底厚度測量: TTV、平均值、小值、大（dà）值（zhí）、公差（chà）...

粗糙度: 20 — 1000? (RMS)

重複性: 0.1 μm (1 sigma)單探頭*

0.8 μm (1 sigma)雙探頭*

分辨率: 10 nm

設備尺寸:

413-200: 26”(W) x 38” (D) x 56” (H)

413-300: 32”(W) x 46” (D) x 66” (H)

重量: 500 lbs

電源 : 110V/220VAC 真空: 100 mm Hg

*樣本表麵光滑（一般粗糙度小於0.1μm RMS)

** 150μm厚矽片（沒圖案、雙麵拋光並（bìng）沒有摻雜）