反（fǎn）射膜厚儀-800av凹凸视频在线观看儀器（上海（hǎi））有限公司

產品中心

反射膜厚儀

更（gèng）新時間：2021-03-02

產品品（pǐn）牌：Semiconsoft

產品型號：MProbe係列

產（chǎn）品描述：反射（shè）膜厚儀是一種非接觸式、快速的光學薄膜厚度測量技術。

當一束光入射到薄膜（mó）表麵時，薄膜上表麵和下表麵的反射光會發生幹涉，幹涉的發生與薄膜厚度及光學常數等有關，反射光譜薄膜測厚儀就是基於此原理來測量薄膜（mó）厚度。

反射膜厚儀是（shì）一種非接觸式、無損的、快速的光學薄膜厚度測量技術。

測量範圍: 1 nm - 1 mm

波長範圍: 200 nm -8000 nm

光斑尺寸:2um -3 um

標準配置中包含：

1. 主機(光譜儀，光源，電（diàn）線)

2. 反射光纖（xiān）

3. 樣品台（tái）及光纖（xiān）適配器

4. TFCompanion軟件（jiàn）

5. 校準套裝

6. 測試樣品，200nm晶圓

廣泛（fàn）的應（yīng）用於各種工（gōng）業生（shēng）產及（jí）工藝監控中：

半導體晶圓，薄膜太陽能電池，液晶平（píng）板，觸摸屛，光學鍍膜，聚合物薄膜等

半導體製造（zào）：· 光（guāng）刻（kè）膠 · 氧化（huà）物 · 氮化物

光學鍍膜：· 硬塗層 · 抗反射塗層 · 濾波片

生物醫學：· 生物膜厚度 · 硝化纖維