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反射膜厚儀

更新時間:2020-08-12

產品品牌:Semiconsoft

產品型號(hào):MProbe RT

產品(pǐn)描述(shù):大部分(fèn)透光或弱吸收(shōu)的薄膜均可(kě)以快速且穩(wěn)定的被測量。

產品概述

       大部分透光或弱吸收的薄(báo)膜均可以快速且穩定的被測量。比如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導體(矽,單(dān)晶矽,多晶矽),半導體(tǐ)化合物(wù)(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬塗層(碳化矽,類金剛石炭),聚合物塗層(聚甲基丙烯酸甲酯(zhǐ),聚酰胺(àn))

        該機大部分(fèn)透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被測量。比(bǐ)如:氧化物,氮化物,光刻膠,高分子聚合物,半導(dǎo)體(矽,單晶矽,多晶矽),半導體化合物(AlGaAs, InGaAs,CdTe, CIGS),硬塗層(碳化矽,類(lèi)金剛石炭),聚合物塗層(聚甲基丙烯酸甲(jiǎ)酯,聚(jù)酰胺)

測量範圍: 1 nm -20um(UVVis),1nm-150um(UVVisNIR)

波長範圍: 200 nm -1000 nm(UVVis)

200nm-1700nm(UVVisNIR)

適用於實時在線測量,多層測量,非均勻(yún)塗層, 軟件包含大量材料庫(超過500材料),新材料可以很(hěn)容易的添加,支持多重算法:Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等;

藍寶石基底(dǐ)上1025nm厚度的氧化物薄膜的反射率和透射率,波長範圍(200-1700nm):

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