更新時間（jiān）：2023-09-06
產品品牌：布魯（lǔ）克Bruker
產品型號（hào）： JV-QC3
JV-QC3 高分辨率X射線衍射儀
高精技術指標，快速自動化產品質量控製
專為半導體材料的結構參數測定與生產質量控製而設（shè）計
產品簡介
JV-QC3是布魯克半導體部門推出（chū）的新型半導體生產質量控製設備，是（shì）一款專為化合物半導體產（chǎn）業所設計的生產質量控製型高分辨率X射線衍射（shè）儀。
布魯克科技（jì）公司半導（dǎo）體部門研發質量控製型(QC)設備已經有三十餘年的曆史， Bede QC200機型作為QC3機型的前身，已經在全球（qiú）被廣泛應用Si，GaAs，InP，GaN, 及其他相關半導體襯底或外延層材料的測試（shì）和生產控製。
產品特點
● 實現了高分辨率（lǜ）X射線衍射測試（shì）技術的部分或完全自動化，並可根據客戶產品的具體需求來定製設計（jì）專用的自動化控製（zhì）程序和質量控製參數。
● 可根（gēn）據客戶要求配（pèi）置自動化機械（xiè）手（shǒu）臂，實現半導體晶圓片的自動化裝載， 在生產線上執行測試流程的全自動化（huà）。
● 可一次性同時放置多個晶（jīng）圓片，單一（yī）自動化程序完成全部晶圓（yuán）片測試，如直徑為100 mm晶圓片，樣品（pǐn）盤上可以同時（shí）放置4片或以上。控製軟件可以依次針（zhēn）對樣品盤上所有的晶圓片，執行測試程序菜單，從而減少人工（gōng）操作的時間，提高測試效率。
產品優勢
● 專注於半導體材料的高分辨率X射線衍射，不為兼顧（gù）其他（tā）X射（shè）線測試技術而降低對分辨率的要（yào）求（qiú）。
● 與上一代的質量控製型設備相（xiàng）比，提高了X射線的強（qiáng）度。在相同測試速度的情況下，測試（shì）精度更高；在相同測試精度的條件（jiàn）下，測試速度更快。
● 降低了設備及（jí）附件的購置和維護成本。
● 更低的（de）運行成本。
● "XRG Protect”技術（shù），可以有效延長X射線光管的（de）使用壽命。
● 環保（bǎo）的（de）綠色工作模式，待機時有效降低能耗。
● 提供（gòng）用（yòng）於自動化轉載晶圓片的機械手臂，具備多片批次式的同時測試功能，提（tí）供生產測試效（xiào）率。
● 操作簡便，無需（xū）專業人員進行操作。
● 晶片準直、數據采集與分析完全自（zì）動化。
● 自動化數據擬（nǐ）合分析軟件。
● 可實現客戶遠程控（kòng）製生產線上（shàng）的（de）數據采集與結果報告
技術應（yīng）用（yòng）
直接測量並確定多層外延膜結構的外延層組分、弛豫度和應變
自（zì）動準直品圓片、自動化測試、自動化分析數（shù）據（jù）、自動輸出測試結（jié）果
自（zì）動化衍射數據擬合分析（xī），采用Bruker JV - RADS 軟件（即Bede RADS)
可以實（shí）現化合物半導體材料的對稱幾何、非對稱幾何及傾斜對稱幾何的X射線衍射
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