隨著太（tài）陽能電池工業的快速發展，多種（zhǒng）光伏技術湧現市（shì）場（chǎng）。Bruker的探針式表（biǎo）麵輪廓儀Dektak XT可（kě）為太陽能電池領域研究的科學家提供快速多種檢（jiǎn）測方案，Dektak XT探針式表麵輪廓（kuò）儀通過定性、定量或檢測多道加工步驟，幫助太陽能電（diàn）池製造商提（tí）能、降低（dī）成本，加速太陽能電池的商業（yè）化。

1. Dektak XT測試太陽能電池薄膜厚（hòu）度
    理想的太陽能電池（chí）薄膜（mó）厚度是製造出太陽能電池的基本條件。透明薄膜還是不透明薄膜，隻要構（gòu）建出基底與薄膜的邊界，Dektak XT均能在幾秒之內快速準確的完成（chéng）薄膜（mó）厚度的測試。

圖1 太陽能電（diàn）池厚度測（cè）試

2. Dektak XT表（biǎo）征太陽能電池的表麵粗糙度

   粗糙度是評價太陽（yáng）電電池能效（xiào）的重要指標之一，太陽能電池表麵太光滑影響光（guāng）照（zhào）的吸收，太粗糙大量的散射同樣會影（yǐng）響光的吸收，因此，需要對太（tài）陽能電（diàn）池表麵粗糙度進行監測。探針（zhēn）式表（biǎo）麵（miàn）輪廓儀亞納米級別的分（fèn）辨率能（néng）夠快速（sù）檢測太陽能電（diàn）池二維及三維表麵的粗糙度。

圖2 太陽能電池表麵二維粗糙度

圖3 太陽能電（diàn）池表麵三維（wéi）粗糙度

3. Dektak XT檢測太陽能（néng）電池表麵軌跡及柵線寬度

   為合（hé）適的麵板及（jí）小麵積無光伏材料覆蓋，監控銀線質量（liàng）及傳導軌跡。Dektak XT憑借強大的軟件分割功（gōng）能，可自動（dòng）計算出（chū）柵線的深度、寬度、體積、底麵與基底的（de）粗糙度，對比數據庫，可快速篩選（xuǎn）不合格產品。同時幫助快速得到柵線正確的位置、寬度、深度，從而減（jiǎn）少油（yóu）墨等（děng）昂貴材料的浪費，降低成本。

圖（tú）4 太（tài）陽能電池柵線的多種分析（xī）

4. Dektak XT優化與控（kòng）製太陽能電池的生產過程

    Dektak XT用於控（kòng）製和（hé）太陽能電池的製造過程。Dektak XT憑借其200mm的掃描長度，能夠快速掃描得出（chū）8寸晶圓基底各位置的高度，軟件自動快速計算刻蝕與沉積的速率，得到理想的（de）薄膜厚（hòu）度、表麵均勻性及加工次數。

圖5 8寸（cùn）晶圓（yuán）表麵（miàn）各位置（zhì）高度（dù）

結論：

Dektak XT能（néng）夠快速（sù）的表征太陽能電池表麵信（xìn）息，幫助得到高能、低成本的太陽能電池產品。其主要優勢有（yǒu）：

1. 對薄膜材質沒有要求，透（tòu）明、不透明均可（kě），不需製樣；

2. 亞納米（mǐ）級（jí）別的縱向分辨率1Å；

3. 軟件分析（xī）功能（néng）；

4. 200mm超長的掃（sǎo）描長度；

5. 業內（nèi）的台階重複性，4Å。