
薄膜應力及(jí)基底翹曲測試設備
FSM128係列設備,裝備有光學掃描係統。
薄膜應力及基底翹曲測試設備
FSM 500TC 200mm 高溫(wēn)應力測試係統可以幫助研發和工藝工程師評估薄膜的熱力學性.....
晶(jīng)圓厚(hòu)度測量係統
FSM413回波探頭傳感器使用具有紅外(IR)幹涉測量技術
Line Card
全自動(dòng)紫外(wài)線(xiàn)芯片應力測量儀
全自(zì)動紫外線芯片應力測量儀一台全自動紫外線——可見光RAMan儀(yí)器,主要用與測量芯(xīn)片應力。
紅外幹涉測量設備
紅外幹涉測量技術, 非接觸式測量
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