反（fǎn）射膜厚儀-800av凹凸视频在线观看儀器（上海）有（yǒu）限公司

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反（fǎn）射膜厚儀

更新時間：2020-08-12

產品品（pǐn）牌：Semiconsoft

產品型號：MProbe UVVisSR

產品描述：MProbe UVVisSR薄膜測（cè）厚儀大部（bù）分（fèn）透光或弱吸收的薄膜均可以快速且穩定的被（bèi）測量。

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產品（pǐn）概述

MProbe UVVisSR薄膜測厚儀大部分透光或弱吸（xī）收的薄膜均可以快速且（qiě）穩定的被測量。比如：氧化物，氮化物，光刻（kè）膠，高分子聚合物，半導體（tǐ）(矽，單晶矽，多晶矽)，半導體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬塗層(碳化矽，類金剛石炭)，聚合物（wù）塗層(聚甲基丙（bǐng）烯酸甲酯，聚酰胺)

該機大部分（fèn）透光或弱吸收的（de）薄膜均可以快速且穩（wěn）定的被測量。比如：氧化物，氮化（huà）物，光刻膠，高分子聚合物，半導體(矽，單晶（jīng）矽，多晶矽)，半導體化合物(AlGaAs, InGaAs，CdTe, CIGS)，硬塗（tú）層(碳化矽，類金剛石炭)，聚合物塗層(聚甲基丙（bǐng）烯酸甲酯，聚酰胺)

測（cè）量範圍: 1 nm -50um

波長範圍: 200 nm -1000 nm

MProbe UVVisSR薄膜測厚（hòu）儀（yí）適用於實時在（zài）線測（cè）量（liàng），多層測量，非均勻塗層, 軟件包（bāo）含（hán）大量材料庫(超（chāo）過500材料)，新材料（liào）可以很（hěn）容易（yì）的（de）添加，支持多重算法：Cauchy, Tauc-Lorentz, Cody-Lorentz, EMA等。

測量指標（biāo）：薄膜厚度，光學（xué）常數

界麵友好: 一鍵式測量和（hé）分析。

實（shí）用的工具：曲線擬合和靈敏度（dù）分析，背景和變形校正，連接層（céng）和材料，多樣品測（cè）量（liàng），動態測量和產線批量（liàng）處理。

（MProble NIR薄膜測厚儀係統（tǒng）示）

案例1，73nm SiN氮化矽薄膜的測量

矽晶圓反射率，測量時間10ms

使用（yòng）Tauc-Lorentz模型，測量SiN薄（báo）膜（mó）的n和k值