薄膜應力及基底翹曲測試設備
FSM128係列設（shè）備，裝備有光學掃描係統（tǒng）。
薄膜應（yīng）力及（jí）基底翹曲測試設備
FSM 500TC 200mm 高溫應力測試係統可以幫助研（yán）發和（hé）工藝（yì）工程師評估薄（báo）膜的熱力學（xué）性.....
晶圓厚度測量係統
FSM413回波探頭傳（chuán）感器使用具有紅外（IR）幹涉測量技術
Line Card
全自動紫外線芯片應力測量儀
全自動紫外線芯片應力測量儀一台全自動紫外線——可見光RAMan儀器，主要用與（yǔ）測量芯片應力。
紅（hóng）外（wài）幹涉測量設備
紅外幹涉測量技（jì）術, 非接觸式測量
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